PFC ist der Vorreiter in der Förderung von Komponenten und Materialien für die komplizierten Bedingungen der Entwicklung von Halbleitern. Unsere Produkte werden in Produktionsanlagen verbaut und helfen dabei den Halbleiterherstellern den Ertrag zu vergrößern, den Streitwert zu minimieren und weltweit die Leistung zu perfektionieren.

Wir fertigen keramische Komponenten nach strikten Vorgaben und arbeiten dabei mit Halbleiter Erstausrüstern um maßgeschneiderte Lösungen für Ihre Bedürfnisse zu finden.

Unsere Unterbaugruppen und keramischen Komponenten werden in Verarbeitungskammern und im Wafer-Handling genutzt. Die erstklassige Oberfläche, Dichtigkeits- und Korrosionsbeständigkeit, hohe Reinheit und dimensionale Stabilität unserer Materialien garantieren verlässliche Effizienz im anspruchsvollen Umfeld der Herstellungskammer. Siliziumkarbidmaterialien erzeugen eine große Prozentzahl von Silizium-Wafern, die weltweit in elektronischen Produkten des täglichen Lebens genutzt werden.

Typische Materialien:

• Aluminiumoxid

• Aluminiumnitrid

• Keramik/ Metallbauteile

• Zirkonoxid (TZP)

Typische Anwendungsgebiete:

• Kammerringe

• CMP-Pad-Konditionierer

• Kristallzüchtungstiegel

• Elektrischer Spannantrieb

• Kantenkammerkomponente

• Endeffektoren

• Durchführungen

• Heizungsanordnungen

• Heizungen

• Ionenstrahlsysteme

• Hubstifte

• Bolzenfutter

• Stromversorgung

• RTP Kantenringe

• Zerstäubungstargets

• Waferklemmen